Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов: Учебное пособие

Учебное пособие по дисциплине ''Физико-химические основы технологии РЭС'' соответствует требованиям государственных образовательных стандартов высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированного специалиста 654300 - ''Проектирование и технология электронных средств'' (специальность 200800 - ''Проектирование и технология радиоэлектронных средств'') и направлению подготовки бакалавра 551100 - ''Проектирование и технология электронных средств''. В учебном пособии рассматриваются особенности технологии глубокой очистки веществ, механизм и кинетика роста кристаллов, основные методы выращивания монокристаллов, а также основы технологии получения полупроводниковых материалов и их свойства, приводятся вопросы и задания. Учебное пособие предназначено для студентов 3-го курса, изучающих дисциплину ''Физико-химические основы технологии ЭС''